原子序數

• 高原子序數元素：通常來說，原子序數較大的元素，具有更復雜的電子結構和更多的內層電子。當受到激發時，這些元素產生的特征 X 射線能量較高，且譜線相對簡單，容易被 X 熒光光譜儀識別和檢測。例如鉛（Pb）、鈾（U）等元素，檢測精度和準確性相對較高，在合適的條件下，精度可達相對誤差 1% - 3% 左右，準確性也能很好地滿足各類分析要求。

• 低原子序數元素：原子序數較小的元素，如鈉（Na）、鎂（Mg）等，其特征 X 射線能量較低，在檢測過程中容易受到樣品基體、空氣吸收等因素的干擾。同時，它們的譜線可能與其他元素的譜線存在重疊或干擾的情況，導致檢測的精度和準確性相對較低，相對誤差可能在 5% - 10% 左右，甚至更高。

元素含量

• 高含量元素：對于含量較高的主量元素（如含量在 1% 以上），X 熒光光譜儀有足夠的信號強度來進行準確測量，統計誤差相對較小，檢測精度和準確性較高，相對誤差通常可控制在 1% - 5% 左右。

• 低含量元素：當元素含量較低，接近儀器的檢測限，檢測的不確定性增加，背景噪聲的影響相對較大，精度和準確性會下降。對于痕量元素（含量低于 0.1%），相對誤差可能會達到 10% - 30%。

譜線干擾

• 干擾少的元素：有些元素的特征 X 射線譜線與其他元素的譜線不容易發生重疊或干擾，如鈹（Be）等，這類元素的檢測精度和準確性相對較高。

• 干擾多的元素：一些元素的譜線復雜，容易與其他元素的譜線重疊，如鐵（Fe）、鉻（Cr）、鎳（Ni）等元素，在復雜樣品中，它們的譜線可能相互干擾，給準確測量帶來困難，需要通過復雜的譜線校正和分離技術來提高精度和準確性，否則可能會導致較大的誤差。

元素化學形態

• 簡單形態元素：如果元素以單一、簡單的化學形態存在，其 X 射線熒光信號相對穩定和特征明顯，檢測的精度和準確性較高。

• 復雜形態元素：當元素存在多種化學形態或與其他元素形成復雜的化合物時，可能會影響 X 射線的吸收和熒光發射效率，導致檢測結果的精度和準確性受到影響。比如，同一種元素在不同的礦物相或有機化合物中，其檢測信號可能會有所不同，需要進行特殊的校正和處理。